一个从来没有研究过euv技术的年轻人,放出话在要半年内研制出单次曝光光刻12纳米的智能光刻机。听到这个消息时,长春光机所所长贾斌第一反应是痴人说梦话。
    要知道,长春光机所三代人花了六十多年时间才刚刚攻克了22纳米光刻机,你一个搞软件开发的凭什么敢如此妄言?
    然而,当贾斌发现阿斯麦和尼康两大光刻机巨头都没有第一时间就周易的宣言发表他们的看法,不由有点感到困惑。
    很快,贾斌发现一个更奇怪的现象:国内外没有一家公司、一家媒体就周易的宣言进行质疑和攻击!
    这显然就有点不正常了。
    周易一直想买一台极紫外光刻机,这事贾斌是知道的。
    之前还以为周易是想自己投资搞一家芯片制造厂生产爻语言智能芯片,觉得这个年轻人未免把芯片制造看得太简单了。
    直到这时候贾斌才恍然大悟,周易哪里是想搞芯片制造厂,他竟然想自己造光刻机!
    他从长春光机所引进这台22纳米的极紫外光刻机,显然是打算在这款光刻机的基础上进行智能化改进。
    对于周易有没有能耐开发出极紫外光刻机的软件系统,贾斌一点也不怀疑。毕竟周易手中掌握了当今世界最先进的超级人工智能,这玩意对于开发软件而言简直就是个逆天大杀器。
    贾斌甚至在想,荷兰的阿斯麦公司和rb的尼康公司没准也在琢磨引进周易的爻语言人工智能,为他们的产品的软件系统升级。
    或许,这就是阿斯麦和尼康不想得罪周易的主要原因。
    带着心中种种疑问和好奇,贾斌来到了江洲,来到了眼前这座明显带有神秘色彩的109所。
    长春光机所也属于高级保密单位,但跟这个刚成立没多久的109所相比,内外都紧的安保警戒部署明显差了许多。
    经过三道全副武装荷枪实弹警卫守卫的门禁,贾斌跟所有第一次进入二层智能实验工厂的人一样,第一眼就被这座充满了科幻氛围的机器人工厂给惊呆了。
    全智能无人工厂!
    看来这就是周易想要研制智能光刻机的底气所在。
    贾斌不知道的是,当国家高层得知周易要研制世界最先进智能光刻机的消息后,马上动用国家力量,把国内所有从事光刻机研究的企事业单位掌握的技术资料,都复制了一份送到109所。
    相比于普通的老百姓,国家领导人对先进光刻机受制于人,导致华夏高端半导体产业严重拖后这口闷气比任何人都要重得多。
    看着前方大屏幕上不住变化的图形,贾斌若有所思地问道:“周主任,这是在进行智能模拟演化吗?”
    “是的,贾所长。”
    周易点头说道:“小熊在对极紫外光刻技术、纳米压印光刻技术、无掩摸光刻技术进行对比分析和优化组合,从而计算推演出最佳设计方案。
    确保这个设计可以最大限度地提高套刻精度、解决曝光工艺中的缺陷、抑制气泡、控制液体流场稳定性、抑制残留液体和污染,实现三次曝光技术有效结合,更进一步提高光刻分辩率,并最大限度地降低能耗。”
    “周主任你也懂光刻技术?”贾斌明显意外地望着周易问道。
    周易懂个毛线,他只不过是在复述爻的设计思路和理念。
    但这话周易肯定不会说出来,只能谦虚地笑道:“略懂皮毛。”
    “真是后生可畏啊!”
    贾斌苦笑着摇头说道:“来之前,我还以为周主任是一时冲动作出的拍脑袋决定。没想到周主任对极紫外光刻、纳米压印光刻和无掩摸光刻都有研究。这三种技术代表着当今最前沿的光刻技术,能吃透一种就了不得了,周主任居然三种同步,只是想把这三种不同理念的光刻技术揉合到一起,我个人觉得不太现实。”
    周易老神在在地笑道:“人脑没法将这三种光刻技术进行模拟分析,但人工智能可以实现。无论是哪种光刻技术,都是基于光学应用。既然殊途能同归,我想总能找到其一脉相承的共性。”
    贾斌想辩驳,可一时间又找不到依据。
    周易的设计立意明显是想依赖超级人工智能的强大功能,不管他是执着也好,迷信也罢,超级人工智能究竟有何神通,貌似局外人谁也不知道。
    再次抬头看着大屏幕上一台台光刻机模型拼装成型,旋即又打散重组,组成另一种不同结构的光刻机后,又被打散再度变化组合,如此翻来复去循环不停,贾斌渐渐陷入深思。
    华夏如果想在尖端光刻技术方面走出一条不同的路,或许周易主持的109所是最大希望。
    想通这一点,贾斌忽然眼神热切地望着周易说道:“周主任,咱们两个所合作如何?”
    “如何合作?”周易很感兴趣地点头笑道。
    “资源共享,成果共享!”
    贾斌充满自信地答道:“长春光机所在光刻技术方面长达六十多年的研究经验和积累,应该能让贵所少走很多不必要的弯路!”
    周易沉思片刻,然后伸出右掌,微笑着说道:“贾所长,合作愉快!”
    贾斌伸出双手紧紧握着周易的右掌,欣然说道:“合作愉快!周主任。”
    随着109所和长春光机所就合作研发先进智能光刻机的协议签定,一场声势浩大,覆盖了华夏所有光刻机技术研究人才的智能化并行工程轰轰烈烈的展开。
    正所谓人多力量大。
    各种不同设计思路,不同理念通过计算机变成数据汇聚109所的人工智能大数据库,为爻的优化设计提供了强大的数据支撑。
    让周易没想到的是,爻的最终设计还没出来,但她基于纳米压印光刻技术中的热压印、紫外压印和微接触压印三种技术进行优化后设计出来的一款16纳米双工件台智能系统纳米压印光刻机,得到了包括贾斌在内的所有研究员的高度认可和热捧。
    大家认为,这台智能纳米压印光刻机虽然还没有达到周易的高标准要求,但这款纳米压印光刻机对华夏的半导体行业进行全面技术升级有着前所未有的巨大意义。
    因为,纳米压印光刻机有着分辨率高、成本低、工艺环节少、速度快等诸多优点,非常适合高端集成电路工业化量产的需求。
    为了不打消大家的积极性,周易只能对小熊下达了制造这款被贾斌命名为“爻氏纳米压印光刻机”验证样机的指令。

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